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      設備展示
      
                
      shebeizhanshi
      
            
      
        
      
    
      

      

      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
                
      
                
      
                    
      藍寶石406
      
                    
      
                        
      外型尺寸2.0*2.0*2.5米
      有效鍍膜空間590*400毫米
      抽氣系統分子泵+機械泵
      電源
      50KW,380V,50HZ,3PHASE
      偏壓高頻脈沖電源
      靶源數
      4,磁控濺射 1~3,離子源 1~3
      控制系統可編程控制器+電腦
      鍍膜工藝溫度80～180度
      典型涂層濺射TiN氮化鈦，濺射CrN氮化鉻，DLC類金剛石等等單層，復合，納米涂層

                          
      
                
      
                
      
            
      
            
      
        
      
    
      

      







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